Plantilla AlN
AlN sobre plantilla de silicio
Una plataforma de plantillas AlN-on-Si muy versátil. La capa de AlN de alta calidad soporta una amplia gama de aplicaciones, incluyendo epitaxia de potencia/RF de GaN, MEMs piezoeléctricos (filtros saw/baw) y dispositivos fotónicos avanzados, permitiendo una integración fluida con procesos maduros de fabricación de silicio.