Epitaxia SiC | Alta uniformidad y bajo defecto | Power Wafertech

Obleas SiC

Epitaxia SiC

Obleas epitaxiales SiC cultivadas por CVD, que ofrecen excelente uniformidad de grosor y baja densidad de defectos. Diseñado para dispositivos de alimentación de 600V a 10kV (SBDs, MOSFETs, IGBTs), permitiendo aplicaciones de alto rendimiento en vehículos eléctricos, propulsores industriales y energías renovables.
  • Politipos — 4H-SiC (homoepitaxia) · 3C-SiC (homo- y heteroepitaxia)
  • Conductividad — Tipo N, tipo P, Semiaislante
  • Diámetros — 2″, 4″, 6″, 8″
  • Rango de grosor — 0,5 – 200μm (personalizable)
  • Estructura — Multicapas personalizadas, capas buffer, perfiles de dopaje precisos
Especificaciones detalladas

Especificaciones por tipo de oblea.

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Parámetro Epitaxia 4H-SiC
Sustrato
Diámetro 2", 4", 6", 8"
Orientación En el eje, fuera del eje
Conductividad Tipo N Tipo P Semiaislante
Resistividad 0,015 – 0,028 Ω·cm ≤0,3Ω·cm > 1E8 Ω·cm
Rugosidad superficial ≤ 0,2nm
MPD ≤ 1cm⁻²
Capa Epi
Conductividad Tipo N Tipo P Semiaislante
Rango de espesor 0,5 ~ 200μm (Personalizable)
Uniformidad de espesor ≤ 10% ≤10% ≤10%
Concentración de portadores 1E14 ~ 1E19 cm⁻³ 1E14 ~ 1E19 cm⁻³ 1E14 ~ 1E19 cm⁻³
Uniformidad del portador ≤ 20% ≤ 20% ≤20%
Aplicaciones

Donde esta oblea aporta valor

01

Vehículos eléctricos y carga rápida

Capas de epi de alto voltaje y baja resistencia para trenes motrices de vehículos eléctricos y sistemas de carga rápida. Optimizado para MOSFETs SiC de 650V-1700V y diodos JBS, con alta uniformidad de grosor del ≤4% y perfiles de dopaje precisos.

02

Energía Industrial y Renovables

Obleas de epi fiables diseñadas para conversión de energía en ambientes adversos y maquinaria pesada. Diseñado para MOSFETs SiC de alta potencia, SBDs y módulos de potencia de 1200V+ en inversores solares, almacenamiento de energía y sistemas de transporte ferroviario.

03

Energía de centros de datos con IA

Habilitar capas de epinefrisación con pérdida de conmutación ultra baja para fuentes de alimentación de servidor de alta densidad (PSU). Diseñado para MOSFETs de Zanja y rectificadores de alta eficiencia, ofreciendo bajos BPDs y rugosidad superficial mínima para máxima eficiencia energética.

04

Ultra-Alto Voltaje (Grid & ESS)

Capas epitaxiales gruesas para redes inteligentes de próxima generación y sistemas de almacenamiento de energía (ESS). Soporta IGBTs de 10kV+, GTO y uniones PN con nuestra capacidad de epinefrina ultra-gruesa que va de 30 a 200μm.

Preguntas frecuentes

Preguntas frecuentes sobre este producto

Respuestas rápidas sobre selección de materiales, personalización, pruebas y pedidos.

Para la homoepitaxia estándar 4H-SiC, la concentración de portadores puede controlarse aproximadamente entre 1×10¹⁴ y 1×10¹⁹ cm⁻³. Esto depende del tipo de conductividad (tipo N o tipo P) y del diseño específico de tu adrenalina.

Para la homoepitaxia estándar 4H-SiC, la uniformidad del grosor puede controlarse hasta aproximadamente el ≤10%. Para estructuras de epi SiC tipo P seleccionadas, la uniformidad puede alcanzar el ≤4%. El rendimiento real depende del tamaño de la oblea, el grosor de epi y la estructura.

Sí. PWG puede desarrollar estructuras epitaxiales multicapa personalizadas, incluyendo capas de tampón, capas de dispersión de corriente, capas de canal, capas de barrera y otras estructuras específicas del dispositivo.

Sí. Ofrecemos capas epitaxiales SiC de 30–200 μm de espesor para aplicaciones de ultra alto voltaje (hasta 10kV+). El grosor, la concentración de dopaje y la uniformidad se optimizan según el voltaje de ruptura objetivo.

Implementamos un estricto control de procesos epinefrinos para minimizar las dislocaciones del plano basal (BPDs) y las fallas de apilamiento (SF). La densidad típica de defectos se mantiene a niveles líderes en la industria para garantizar un alto rendimiento y fiabilidad del dispositivo. Los datos completos de mapeo están disponibles bajo solicitud.

Investigación técnica

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